| 专利名称 | 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 | 申请号 | CN201210243513.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102735564A | 公开（授权）日 | 2012.10.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 杨晋玲;王帅鹏;王晶晶;杨富华 | 主分类号 | G01N5/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N5/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 至基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支撑端连接于该惠斯特桥式检测电路，该惠斯特桥式检测电路由四个U型结构的压阻条(1)、三个输入电极(8、9、10)和两个输出电极(7、11)构成，四个压阻条(1)通过信号传输线(2)连接于输入电极(8、9、10)和输出电极(7、11)。该生化传感器通过检测吸附待测物后导致的频率变化，感知微小生化分子，具有较高的灵敏度，可探测到微小质量的生化分子，能够广泛应用于医学、化工等工程领域。 |
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