| 专利名称 | 一种光学面形的检测装置及检测方法 | 申请号 | CN201210199391.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102735184A | 公开（授权）日 | 2012.10.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 贾辛;徐富超;谢伟民;邢廷文 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学面形的检测装置及检测方法 至一种光学面形的检测装置及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种光学面形的检测装置及检测方法，激光器发射的光经过分光镜、准直光学系统、反射镜、参考面反射后产生参考光，参考平面和待测平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜组收集到CCD探测器接收。移相器用来产生移相。转台用来控制参考平面的旋转，平移台控制待测平面的移动。平移台使待测平面移动来测量待测平面上不同的子孔径，转台用来控制参考平面的旋转，在原有的三平面测量的算法基础上，只用两个平面在子孔径拼接过程中就解出两个平面的面形信息。本发明提高检测的精度，同时在检测过程中不更换镜子，用两个平面就完成了绝对测量，提高了检测的重复性和再现性。 |
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