一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法

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专利名称 一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法 申请号 CN201210194672.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102735429A 公开(授权)日 2012.10.17 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 孙景旭;任建伟;万志;刘则洵;李葆勇;李宪圣;李豫东 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法 至一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法涉及CCD成像质量检测领域,该设备包括卤素灯光源室、单色仪、积分球装置、分划板部、大数值孔径显微物镜装置、CCD三维调整架和待测CCD。本发明利用单色仪与积分球输出均匀的单色光,并经过大数值孔径显微物镜成像,将特定空间频率的分划板成像到CCD成像电子学系统的光敏面上,根据图像采集得到的黑白条纹的数码值进而计算出CCD调制传递函数。本发明使用白光及各谱段单色光对CCD调制传递函数进行评价,能够对不同景物通过CCD后的成像质量进行全面分析评价;利用步进电机对分划板及CCD进行多维调节,减轻了CCD调制传递函数测试的工作量;结构紧凑,操作方便简单。

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