一种基于计算全息的非球面绝对检测方法

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专利名称 一种基于计算全息的非球面绝对检测方法 申请号 CN201210243373.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102778210A 公开(授权)日 2012.11.14 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 陈强;李世杰;吴高峰;万勇建;侯溪 主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I;G01M11/00(2006.01)I 专利有效期 一种基于计算全息的非球面绝对检测方法 至一种基于计算全息的非球面绝对检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种基于计算全息的非球面绝对检测方法,包括干涉仪、标准镜头、CGH1、CGH2、被测非球面镜和参考球面镜;首先用CGH1检测被测非球面镜的面形,检测结果包括系统误差、CGH1的误差和被测非球面镜的误差;再用CGH2检测被测非球面镜的面形,检测结果包括系统误差、CGH2的误差和被测非球面镜的误差;然后用CGH1和CGH2同时作用,检测参考球面镜的面形,检测结果包括系统误差、CGH1的误差、CGH2的误差、参考球面镜的误差;其中,系统误差和参考球面镜的误差可以提前进行标定,故通过这三次检测,可以分别求出CGH1和CGH2的误差,然后就可以得到被测非球面的绝对检测结果;该方法设计巧妙,结构简单,为非球面的绝对检测提供了一种有效的方法,具有较大的工程应用价值。

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