一种相位差法波前传感器

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专利名称 一种相位差法波前传感器 申请号 CN201210162454.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102706464A 公开(授权)日 2012.10.03 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 王帅;杨平;许冰 主分类号 G01J9/04(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/04(2006.01)I 专利有效期 一种相位差法波前传感器 至一种相位差法波前传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种相位差法波前传感器,由成像单元、数字微镜器件、第一、第二阵列型光电探测器组成,数字微镜器件位于成像单元及焦面位置之间,目标发出光束经过成像单元后,数字微镜器件对光束偏转调制,使光束分别往两个方向反射,并在两个反射方向上分别形成目标图像;第一、第二阵列型光电探测器分别位于数字微镜器件的两个反射方向上,且第一阵列型光电探测器位于成像单元的焦面,探测目标被成像单元成像后的焦面图像,第二阵列型光电探测器位于成像单元的离焦面上,探测到目标被成像单元成像后的离焦图像;设成像单元是空间不变线性系统,根据极大似然估计确定目标函数,采用最优化算法寻找使目标函数E最小化的解,求得波前相位分布。

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