软X射线遮光膜及其制备方法

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专利名称 软X射线遮光膜及其制备方法 申请号 CN201210289501.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102779558A 公开(授权)日 2012.11.14 申请(专利权)人 中国科学院高能物理研究所 发明(设计)人 陈田祥;胡渭;孙庆荣;陈勇;李晓军 主分类号 G21F1/12(2006.01)I IPC主分类号 G21F1/12(2006.01)I;G21F1/00(2006.01)I 专利有效期 软X射线遮光膜及其制备方法 至软X射线遮光膜及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种软X射线遮光膜,包括高分子材料薄膜、支撑网及铝层,其中,所述支撑网设置于所述高分子材料薄膜上,所述铝层包覆在所述高分子材料薄膜及支撑网表面上。该软X射线遮光膜覆盖有铝膜,可仅透过软X射线而阻止其它光线,且具有良好的力学性能。本发明同时还提供了该软X射线遮光膜的制备方法。

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