| 专利名称 | 一种照明均匀性补偿装置 | 申请号 | CN201210187778.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102722090A | 公开（授权）日 | 2012.10.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 何毅;张海波;甘大春;林妩媚;邢廷文;廖志杰;卢亮 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种照明均匀性补偿装置 至一种照明均匀性补偿装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种照明均匀性补偿装置，包括沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件，每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对。各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照明视场，遮拦部分照明光，达到调整扫描视场积分能量均匀性的目的。该均匀性补偿装置的补偿单元为长条形薄板，插入照明视场的一端为多边形或圆弧形；补偿单元分两层排布，互相遮盖另一层两补偿单元间形成的间隙。本发明有效地增加照明视场的划分等份数量，减小每等份的宽度，从而提高补偿装置的补偿精度，同时并不增加补偿单元的个数，不会增加机械设计和控制系统设计的难度，易于实现。 |
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