| 专利名称 | 一种纳米压印光刻机 | 申请号 | CN200710178789.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101452207 | 公开（授权）日 | 2009.06.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 姜骥;谢常青;岑专专;商立伟;刘兴华;刘明 | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种纳米压印光刻机 至一种纳米压印光刻机 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、加热板、垫片、 内六角螺钉、支架、传动导向压杆、十字槽沉头螺钉、螺杆和扭力计。 所述加热板放置在底座上，垫片放置在加热板上，支架放置在垫片上， 且所述支架、垫片和加热板通过内六角螺钉固定在底座上；所述支架 的上梁中心处设有螺孔，下梁中心处设有通孔；螺杆套接在上梁螺孔 内，传动导向压杆套接在下梁通孔内，螺杆和传动导向压杆相连并套 接在支架的梁上；所述十字槽沉头螺钉从支架下梁前面中心处螺孔旋 进，并顶住传动导向压杆中间圆柱外表面的条形凹槽；所述螺杆上端 与扭力计相连。本发明提供一种结构简单、制作成本低、操作方便和 使用可靠的纳米压印光刻机。 |
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