一种制备厘米级单层或双层有序单晶石墨层的方法

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专利名称 一种制备厘米级单层或双层有序单晶石墨层的方法 申请号 CN200710178791.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101451269 公开(授权)日 2009.06.10 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 高鸿钧;潘毅;时东霞 主分类号 C30B29/02(2006.01)I IPC主分类号 C30B29/02(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I;C30B1/02(2006.01)I;C30B33/02(2006.01)I 专利有效期 一种制备厘米级单层或双层有序单晶石墨层的方法 至一种制备厘米级单层或双层有序单晶石墨层的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种厘米级单层或双层有序单晶石墨层的制备方法,该 方法以含有微量碳的钌单晶0001面作为衬底,将该衬底经过化学和物理 处理后,在不高于1×10-10mbar的真空下,于700-900℃的退火温度下体 内杂质碳向钌0001面的偏析过程中形成有序单晶石墨层;通过控制退火 温度和时间可以可控的制备单层或双层石墨层。

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