| 专利名称 | 一种加速CMP仿真的方法和装置 | 申请号 | CN201110379986.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102508981A | 公开（授权）日 | 2012.06.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 陈岚;阮文彪;吴玉平 | 主分类号 | G06F17/50(2006.01)I | IPC主分类号 | G06F17/50(2006.01)I | 专利有效期 | 一种加速CMP仿真的方法和装置 至一种加速CMP仿真的方法和装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种加速CMP仿真的方法和装置。该加速CMP仿真的方法包括：步骤1，将物理版图划分为若干区域；步骤2，利用几何同构将所述若干区域内的图形划分为不同的几何同构序列；步骤3，选取几何同构序列中的一个区域内的图形进行CMP仿真；步骤4，根据仿真数据对几何同构序列中的其他区域内的图形进行复用。本发明通过物理版图区域划分、区域内图形几何同构、区域内的CMP仿真、区域CMP仿真数据的复用，以提高对全芯片的CMP仿真速度，缩短对全芯片的CMP仿真时间；以图形同构方式合并CMP仿真任务，基于图形同构对相同的物理版图CMP仿真任务进行一次计算，复用其CMP仿真结果，从而通过减少CMP仿真任务数量提高对全芯片的CMP仿真速度。 |
1、源头对接，价格透明
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