栅下体引出高可靠LDMOS功率器件

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专利名称 栅下体引出高可靠LDMOS功率器件 申请号 CN201210103801.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102623507A 公开(授权)日 2012.08.01 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 姜一波;杜寰 主分类号 H01L29/78(2006.01)I IPC主分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 专利有效期 栅下体引出高可靠LDMOS功率器件 至栅下体引出高可靠LDMOS功率器件 法律状态 授权 说明书摘要 公开了一种栅下体引出高可靠LDMOS功率器件,包括:在LDMOS功率器件的LDMOS栅的下方注入有体注入区;通过体引出引出并抽取所述体注入区附近载流子,控制所述体注入区附近电位。本发明提供的一种栅下体引出高可靠LDMOS功率器件,通过栅变形或者STI隔离等手段,在LDMOS功率器件的栅下注入形成体接触区域并通过金属有效引出,抽取栅下体接触区附件载流子,控制栅下体接触区附件电位,抑制了因体电位升高而导致的漏电流升高,避免了由噪声电流或者碰撞电流引起的寄生晶体管开启而导致的LDMOS器件损伤或烧毁,扩展了LDMOS功率器件的电学安全工作区域,增强了器件可靠性。

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