| 专利名称 | 线位移测量方法及测量装置 | 申请号 | CN201210088474.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102620657A | 公开（授权）日 | 2012.08.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 吴宏圣;孙强;曾琪峰;卢振武;乔栋 | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 线位移测量方法及测量装置 至线位移测量方法及测量装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种线位移测量方法及测量装置；所述方法包括下列步骤：分别采集并记录发光单元光功率密度为I1、I2时光电接收单元各个像元输出的灰度响应值，计算所有像元灰度响应值的算术平均值；计算出各个像元的灵敏度校正因子和偏移量校正因子，并将其固化于测量装置的光电信号非均匀性校正因子存储单元。所述测量装置的发光单元产生的平行光将标尺光栅上的编码字投影于光电接收单元，光电信号非均匀性校正单元利用光电接收单元各个像元输出的灰度响应值及灵敏度校正因子、偏移量校正因子进行非均匀性校正；光电信号处理单元对灰度响应校正值进行位置编码信号的译码处理，算出最终的绝对位置测量值；最终的绝对位置测量值经位置数据输出单元输出。 |
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