| 专利名称 | 一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜 | 申请号 | CN201210107914.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102621822A | 公开（授权）日 | 2012.08.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 罗先刚;赵泽宇;王彦钦;冯沁;王长涛;罗云飞;陶兴;黄成;杨磊磊;姚纳 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜 至一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，该透镜包括：可以传输光的平面多层金属-介质膜、可以缩小成像的曲面多层膜、金属掩模结构、粘连剂层及基底。本发明所述透镜简单，可行性高，只需要常规的涂胶、光刻和工艺镀膜，就可以得到物面为曲面、像面为平面的缩小倍率超分辨成像透镜，所述透镜能够传输高频信息、分辨半波长以下图形，具有广阔的应用前景；同时，本发明所述透镜拓展了现有超分辨缩小成像技术的应用范围。 |
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