垂直腔面发射激光器列阵的串接结构

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专利名称 垂直腔面发射激光器列阵的串接结构 申请号 CN200810051624.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101447647 公开(授权)日 2009.06.03 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 史晶晶;王立军;秦莉;刘云;宁永强 主分类号 H01S5/42(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/42(2006.01)I;H01S5/024(2006.01)I 专利有效期 垂直腔面发射激光器列阵的串接结构 至垂直腔面发射激光器列阵的串接结构 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明是一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)列阵的串接结构,涉及光电 子及半导体技术领域。该结构包括热沉、热沉表面的金属膜、垂直腔面发射激 光器列阵芯片、金属条、流入电极、流出电极及金丝引线、发光单元。该发明 实现了VCSEL列阵的串接,结构紧凑,所有的引线都分布在外侧,VCSEL列阵 芯片排列紧密,有效的发光面积大,发光密度大。在不提高驱动电流的前提下 进一步提高VCSEL列阵的输出功率,拓展了VCSEL列阵的应用范围。使用高 导热材料做为热沉散热,又使用热传导效率较高的焊料,加之VCSEL列阵芯片 的工作方式是脉冲工作,因此,基本解决了散热问题。

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