一种扩散炉炉口回流部件

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专利名称 一种扩散炉炉口回流部件 申请号 CN201210073355.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102605431A 公开(授权)日 2012.07.25 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所 发明(设计)人 汤叶华;周春兰;王文静;费建明 主分类号 C30B31/16(2006.01)I IPC主分类号 C30B31/16(2006.01)I 专利有效期 一种扩散炉炉口回流部件 至一种扩散炉炉口回流部件 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种扩散炉炉口回流部件,为多组环岛形回流结构。环岛形回流结构的环形阻流环具有向石英管内突出的凸起。环岛形回流结构的阻流板和环形阻流环相对布置,安装在石英管内。阻流板和环形阻流环同心布置,阻流板和环形阻流环之间留有缝隙,形成环形的气流通道,构成一组环岛形回流结构;多组环岛形回流结构按照每组环岛形回流结构中的环形阻流环的内径和阻流板的外径大小由里至外向石英管管口方向间隔布置,即环形阻流环的内径和与环形阻流环相对布置的阻流板的外径由里至外,即向石英管管口方向依次递增,多组环岛形回流结构如此布置,构成多组环岛形回流结构。

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