一种大口径轻质反射镜柔性限位支撑装置及安装方法

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专利名称 一种大口径轻质反射镜柔性限位支撑装置及安装方法 申请号 CN201110333837.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102416590A 公开(授权)日 2012.04.18 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 钟显云;范斌;万勇建;曾志革;周家斌 主分类号 B24B13/01(2006.01)I IPC主分类号 B24B13/01(2006.01)I 专利有效期 一种大口径轻质反射镜柔性限位支撑装置及安装方法 至一种大口径轻质反射镜柔性限位支撑装置及安装方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种大口径轻质反射镜柔性限位支撑装置及安装方法,该装置主要包括:浮动支撑结构、柔性支撑结构、齿轮传动机构以及压力传感装置。具体支撑方法主要为以下步骤:基于薄形圆板变形理论,优化分析大口径轻质反射镜面在重力以及磨盘压力作用条件下的柔性限位支撑盘位置、口径以及支撑面所受的支反力;将工件放置于Whiffletree结构模型过度支撑盘上,对工件进行定位;旋转蜗轮蜗杆传动机构,提升柔性支撑盘;基于有限元计算的支反力,利用压力传感装置实时对每个支撑盘的位置进行定位。本发明误差修正效果好,抑制外界热梯度变化的影响,可满足大口径轻质反射镜的能动磨盘加工、检测以及应用过程。

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