| 专利名称 | 一种偏振和双折射测量系统 | 申请号 | CN201210088188.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102621072A | 公开（授权）日 | 2012.08.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 范真节;林妩媚;邢廷文;刘学峰 | 主分类号 | G01N21/23(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/23(2006.01)I | 专利有效期 | 一种偏振和双折射测量系统 至一种偏振和双折射测量系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种偏振和双折射测量系统，通过采用多波片组合以提高偏振和应力双折射的测量精度，其中，光源模块：包括光源和准直扩束系统，起偏器，待测样品。光信号调制模块：包括多级相差共轴波片、检偏器、步进电机驱动卡，步进电机。数据采集处理模块：包括图像采集卡、光强探测器以及计算机。本发明很好的避免了环境和测量条件变化如空气流动，温度变化以及某些不确定的振动方式带来的影响。该系统使用超过一个独立的位相调制元件来抑制噪声，平均主要误差源。本发明该系统采用三个波片来对偏振和双折射进行测量，很好地避免了由于系统的非线性影响引起的非线性误差，大大提高了测量精度。 |
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