半导体纳米线少数载流子寿命的检测方法

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专利名称 半导体纳米线少数载流子寿命的检测方法 申请号 CN201210072969.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102621465A 公开(授权)日 2012.08.01 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 李天信;夏辉;陆卫;胡伟达;姚碧霂;黄文超 主分类号 G01R31/26(2006.01)I IPC主分类号 G01R31/26(2006.01)I 专利有效期 半导体纳米线少数载流子寿命的检测方法 至半导体纳米线少数载流子寿命的检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种半导体纳米线中少数载流子寿命的检测方法,该方法首先利用导电扫描探针测量单根纳米线肖特基反偏下的光激发电流响应,然后利用数值模型对光电流-偏压曲线进行定量拟合,确定半导体纳米线中的少数载流子寿命。本方法适用于外延和刻蚀等方法制备的纳米线样品中单纳米线载流子动力学特性的测定,并且本方法使用了较低的光激发强度,更接近纳米线在光电器件中的工作状态,因而对于分析、评估纳米线及其光电器件的核心性能有重要价值。

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