一种测量光斑大小的方法

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专利名称 一种测量光斑大小的方法 申请号 CN201210109842.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102620655A 公开(授权)日 2012.08.01 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 陈为;廖胜;李华;任栖峰;韩维强;谭述亮;李强;魏红艳;周金梅;时全领 主分类号 G01B11/00(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/00(2006.01)I 专利有效期 一种测量光斑大小的方法 至一种测量光斑大小的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种测量光斑大小的方法,采用光学系统物方扫描的方法,使得光斑依次通过阵列探测器中相邻两个探测元,获取探测器中相邻两个探测元的响应曲线,根据响应曲线的特征提取光斑大小。利用本发明能够提高大占空比探测器中光斑大小的测量精度,并且简单、可行,对于相关的光学测量具有很好的使用价值。

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