| 专利名称 | 可调谐热光带通滤波器像素阵列的制作方法 | 申请号 | CN201110370908.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102509729A | 公开（授权）日 | 2012.06.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 时文华 | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 专利有效期 | 可调谐热光带通滤波器像素阵列的制作方法 至可调谐热光带通滤波器像素阵列的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种可调谐热光带通滤波器像素阵列的制作方法，通过光刻、刻蚀工艺在腔体材料的正面制作热隔离柱，并利用Au/Au键合方式实现热隔离；同时利用Au薄膜的宽光谱、高反射率特性，并采用高热光系数的晶态半导体材料作为腔体实现F-P腔热光可调谐滤波器。本方法中，无需生长具有近红外波段低吸收系数的非晶硅薄膜材料，大大降低了光学膜生长难度。 |
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