| 专利名称 | 一种互连线平均失效时间计算方法及系统 | 申请号 | CN201110319494.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102508953A | 公开（授权）日 | 2012.06.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 马天宇;陈岚;阮文彪 | 主分类号 | G06F17/50(2006.01)I | IPC主分类号 | G06F17/50(2006.01)I | 专利有效期 | 一种互连线平均失效时间计算方法及系统 至一种互连线平均失效时间计算方法及系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明实施例公开了一种互连线平均失效时间计算方法及系统。所述方法包括：确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积，所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域；获取经过所述目标互连线的电流数据；以所述电流数据除以所述实际区域横截面的面积，得到所述目标互连线的实际电流密度；将所述目标互连线的实际电流密度代入平均失效时间函数，获得所述目标互连线的平均失效时间。本方案中，充分考虑了CMP处理后所产生的损失区域带来的误差影响，在计算互连线的MTTF时，所确定的电流密度为通过目标互连线实际区域的电流密度，进而进行后续MTTF计算，因此，可以有效计算CMP处理后互连线的MTTF。 |
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