应变式微纳米级微纳米位移传感器

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专利名称 应变式微纳米级微纳米位移传感器 申请号 CN200810244431.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101435690 公开(授权)日 2009.05.20 申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 余永;宋博;杨卫超;葛运建 主分类号 G01B7/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B7/02(2006.01)I 专利有效期 应变式微纳米级微纳米位移传感器 至应变式微纳米级微纳米位移传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 应变式微纳米级微纳米位移传感器,其特征是设置由各刚性杆体和柔性铰链构成的检测 单元具有杠杆式位移量一级放大机构和位移量二级放大机构,本发明通过多级放大,使弹性 体上的应变片能够检测到被测物体的移动,并通过外部信号采集和处理设备,获得检测结果。 本发明具有高集成度、小体积、低能耗、高精度、低成本的优势,其结构简单、灵敏度高、 易标定、可靠性好。

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