| 专利名称 | 一种微尖端阵列器件及其制作方法 | 申请号 | CN200710176936.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101430938 | 公开（授权）日 | 2009.05.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 陈大鹏;傅剑宇;景玉鹏;欧毅;叶甜春 | 主分类号 | G12B21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G12B21/00(2006.01)I;G12B21/02(2006.01)I;G11B13/08(2006.01)I;G11B11/24(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微尖端阵列器件及其制作方法 至一种微尖端阵列器件及其制作方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及微电子技术中的深亚微米、纳米加工技术领域，公开了一 种微尖端阵列器件，该器件由微尖端阵列、COMS控制电路单元和连接柱 构成；微尖端阵列包括多个微尖端，每个微尖端通过一个连接柱与COMS 控制电路单元进行机械和电学连接；COMS控制电路单元用于控制微尖端 阵列中微尖端进行独立工作；连接柱用于实现微尖端阵列中微尖端与 CMOS控制单元的机械和电学连接。本发明同时公开了一种微尖端阵列器 件的制作方法。利用本发明，通过CMOS电路控制金属尖端场致发射电子 束，实现了高分辨率纳米级图形加工和高密度数据存储，并通过微尖端阵 列化解决了单探针工作效率低的问题。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障