| 专利名称 | 超分辨菲涅耳波带片 | 申请号 | CN200810227458.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101430428 | 公开（授权）日 | 2009.05.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 贾佳;谢长青;刘明 | 主分类号 | G02B27/44(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/44(2006.01)I;G02B27/48(2006.01)I | 专利有效期 | 超分辨菲涅耳波带片 至超分辨菲涅耳波带片 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种超分辨菲涅耳波带片，该超分辨菲涅耳波带片 是在普通的菲涅耳波带片上集成刻蚀等孔径的超分辨位相片，从而形 成普通菲涅耳波带片和等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的 位相衍射单元的位相板。本发明将超分辨技术的圆孔衍射数学处理工 具和普通菲涅耳波带片结合起来，实现了菲涅耳波带片聚焦衍射的主 斑再压缩的光强分布，即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压 缩。 |
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