| 专利名称 | 超分辨光子筛 | 申请号 | CN200810227457.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101430427 | 公开（授权）日 | 2009.05.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 贾佳;谢长青;刘明 | 主分类号 | G02B27/42(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/42(2006.01)I;G02B27/48(2006.01)I | 专利有效期 | 超分辨光子筛 至超分辨光子筛 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种超分辨光子筛，该超分辨光子筛是在透普通的 光子筛上集成刻蚀等孔径的超分辨位相环，从而形成由普通光子筛和 等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的位相衍射单元的位相 板。本发明将超分辨技术的圆孔衍射数学处理工具和普通光子筛结合 起来，实现了光子筛聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布，即实现了激 光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。 |
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