| 专利名称 | 金属或金属氧化物纳米颗粒的制备方法 | 申请号 | CN200810034931.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101429644 | 公开（授权）日 | 2009.05.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 李效民;吴永庆;于伟东;徐军;夏长泰 | 主分类号 | C23C14/14(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/14(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 专利有效期 | 金属或金属氧化物纳米颗粒的制备方法 至金属或金属氧化物纳米颗粒的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种金属或金属氧化物纳米颗粒的制备方法，其特征在于采 用还原气氛热处理方法，包括衬底表面处理、金属或金属氧化物薄膜的制备 和热处理三大步骤。本发明旨在通过对金属或金属氧化物薄膜进行还原气氛 热处理，在衬底上得到各种纳米颗粒。该方法的优点在于可以通过调节镀膜 时间、功率和还原气氛热处理温度及时间对颗粒形貌、分布和大小进行控制， 可与半导体工艺相结合，得到的纳米颗粒具有特殊的催化、光电特性。方法 适合于Fe、Co、Ni、Cu、Si、Ag、Al、Ti、Zn、Al、Mg、Ta、Mo、Sn或 Pt金属及其氧化物纳米颗粒的制备。制备的纳米颗粒粒径为5～200mm，常 见为球形。 |
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