基于锗基底的可见/红外宽光谱分色片

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专利名称 基于锗基底的可见/红外宽光谱分色片 申请号 CN200810202261.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101403806 公开(授权)日 2009.04.08 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 于天燕;成效春;秦杨;刘定权;张凤山 主分类号 G02B5/20(2006.01)I IPC主分类号 G02B5/20(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I;B32B7/02(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I 专利有效期 基于锗基底的可见/红外宽光谱分色片 至基于锗基底的可见/红外宽光谱分色片 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种可见/短、中波红外宽光谱分色片,该分色片以锗为基底, 反射堆以ZnS和YF3为高低折射率材料,等效层采用SiO和Ge,采用离子源 辅助、合适基底温度等特定工艺镀制而成。该分色片在入射角为45°下测得: 透射区波段2.5~2.95μm,4.2~4.8μm,T>90%; 反射区波段0.55~0.75μm, R>70%。本发明分色片产品性能稳定,适合于现代多光谱空间遥感仪器的分 色使用。

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