| 专利名称 | 避免氧化炉管污染的方法 | 申请号 | CN201110104371.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102755975A | 公开（授权）日 | 2012.10.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李春龙;李俊峰 | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B08B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 避免氧化炉管污染的方法 至避免氧化炉管污染的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种避免氧化炉管污染的方法，将日常保养完成后的清洗由一次改为两次。其中，第一次为正常清洗，在第二次清洗前，先重新安装鳍状薄片，将下方的位置调到上方，然后再清洗一遍。这样，整个鳍状薄片的上下部分都会被清洗干净，不会再因温度低而留有污染死角。避免了因为清洗不干净而对正常生产的晶圆造成的污染。给实际生产带来了很大的益处。 |
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