光电器件阵列与光纤阵列的无源耦合方法及其组件制备

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专利名称 光电器件阵列与光纤阵列的无源耦合方法及其组件制备 申请号 CN200710121368.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101382622 公开(授权)日 2009.03.11 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 李宝霞;万里兮 主分类号 G02B6/42(2006.01)I IPC主分类号 G02B6/42(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I;H04B10/12(2006.01)I 专利有效期 光电器件阵列与光纤阵列的无源耦合方法及其组件制备 至光电器件阵列与光纤阵列的无源耦合方法及其组件制备 法律状态 授权 说明书摘要 本发明涉及光通信技术中光电器件阵列的光耦合封装技术领域,公开 了一种光电器件阵列与光纤阵列的无源耦合方法,包括:对基片一面进行 深刻蚀形成穿透整个基片的微通孔阵列;将光电器件阵列倒扣安装在基片 另一面,且光电器件阵列中的每个管芯的有源区与微通孔阵列中对应的每 个微通孔中心轴线垂直对准;将光纤阵列插入微通孔阵列并固定。本发明 同时公开了一种制备光纤阵列的装置及方法。本发明提供的无源耦合方法 具有定位精确、耦合效率高、实现工艺简单的特点。

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