红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术

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专利名称 红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术 申请号 CN200810201532.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101373802 公开(授权)日 2009.02.25 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 张海燕;胡晓宁;李言谨;何力;龚海梅;张勤耀 主分类号 H01L31/18(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术 至红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术,该技术采用 金属的在交变电磁场中的感应电流实现铟柱的熔融,在熔融铟柱的同时不加热 碲镉汞材料,这既提高了互连强度又避免了碲镉汞芯片因高温而性能退化,很 好的解决了焦平面工艺中的铟柱回熔问题。

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