专利名称 | 红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术 | 申请号 | CN200810201532.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN101373802 | 公开(授权)日 | 2009.02.25 | 申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 张海燕;胡晓宁;李言谨;何力;龚海梅;张勤耀 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术 至红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术,该技术采用 金属的在交变电磁场中的感应电流实现铟柱的熔融,在熔融铟柱的同时不加热 碲镉汞材料,这既提高了互连强度又避免了碲镉汞芯片因高温而性能退化,很 好的解决了焦平面工艺中的铟柱回熔问题。 |
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