一种制备晶硅太阳电池局域背接触的方法

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专利名称 一种制备晶硅太阳电池局域背接触的方法 申请号 CN200810119967.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101359702 公开(授权)日 2009.02.04 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所 发明(设计)人 赵雷;王文静 主分类号 H01L31/18(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 一种制备晶硅太阳电池局域背接触的方法 至一种制备晶硅太阳电池局域背接触的方法 法律状态 授权 说明书摘要 一种制备晶硅太阳电池局域背接触的方法,步骤如下:在晶硅衬底(1)背面淀积 铝层(2),利用阳极氧化将铝层(2)制成阳极氧化铝孔阵列(3),生成的阳极氧化 铝孔要贯穿整个铝层,之后在阳极氧化铝孔阵列(3)上淀积背接触电极(4),并进行 退火,使背接触电极(4)通过阳极氧化铝孔与晶硅衬底(1)形成欧姆接触。

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