一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法

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专利名称 一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法 申请号 CN200810200112.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101354284 公开(授权)日 2009.01.28 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 鲍海飞;宋朝辉;李昕欣;姜伟 主分类号 G01H13/00(2006.01)I IPC主分类号 G01H13/00(2006.01)I 专利有效期 一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法 至一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法,特征在于利 用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励 源,当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率 等于或者接近时,器件高量程压阻加速度传感器发生共振,利用共振激发的 方式以获得高量程压阻加速度传感器的共振频率:具体是高量程加速度传感 器器件的管脚输出与放大器连接,从放大器输出的信号通过电缆线连接到计 算机的输入端,记录金属端面之间碰撞过程产生应变波,从对应变波的时域 或频域的分析测出共振频率是一种简单、经济、快速的测试方法。

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