| 专利名称 | 一种全球面投影物镜 | 申请号 | CN201110187035.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102331616A | 公开（授权）日 | 2012.01.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 朱红伟;邢廷文;林妩媚;廖志远;廖志杰;张海波 | 主分类号 | G02B13/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/06(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种全球面投影物镜 至一种全球面投影物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种全球面投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该全球面投影物镜系统，沿其光轴方向包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组。从光束入射方向顺序第一透镜组G1具有正光焦度，第二透镜组G2具有负光焦度，第三透镜组G3具有正光焦度，第四透镜组G4具有负光焦度，第五透镜组G5具有正光焦度。且所述的全球面投影镜组中所有镜片都是球面，不含非球面。本发明的全球面投影镜组能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。 |
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