| 专利名称 | 一种槽型原子气体腔及其构造的原子钟物理系统 | 申请号 | CN201110203006.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102323738A | 公开（授权）日 | 2012.01.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 吴亚明;徐静;张志强;李绍良 | 主分类号 | G04F5/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G04F5/14(2006.01)I | 专利有效期 | 一种槽型原子气体腔及其构造的原子钟物理系统 至一种槽型原子气体腔及其构造的原子钟物理系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种槽型原子气体腔及其构造的原子钟物理系统。所述的槽型原子气体腔由设有槽的硅片和Pyrex玻璃片键合围成腔体结构构成；该腔体结构用于充入碱金属原子蒸汽和缓冲气体；所述槽的横截面为倒梯形，该槽包括底面和与底面成夹角的侧壁。所述的槽型原子气体腔基于MEMS技术制造，由<100>单晶硅片通过硅各向异性腐蚀形成硅槽，并通过硅-玻璃阳极键合制作槽型腔，槽型气体腔的侧壁为硅片的{111}晶面。本发明的优点是利用所述的槽型原子气体腔，通过原子腔体尺寸设计易于增加腔内两反射镜之间的距离，从而增加了激光与原子气体间的相互作用空间长度，使相干布局囚禁效应（Coherentpopulationtrapping,CPT）信号的信噪比增强，有利于提高微型CPT原子钟频率稳定度。 |
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