| 专利名称 | 双色红外量子阱探测器顶部的光子晶体光栅 | 申请号 | CN200710119199.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101350371 | 公开（授权）日 | 2009.01.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 郑婉华;王科;任刚;杜晓宇;邢名欣;陈良惠 | 主分类号 | H01L31/0232(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/0232(2006.01)I;G02F1/35(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I | 专利有效期 | 双色红外量子阱探测器顶部的光子晶体光栅 至双色红外量子阱探测器顶部的光子晶体光栅 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及半导体光电子器件技术领域，公开了一种双色红外量子阱 探测器顶部的光子晶体光栅，该光子晶体光栅包括一二维光子晶体结构和 一金属盖层；其中，所述二维光子晶体结构采用在双色半导体量子阱探测 器顶部半导体材料上刻蚀的圆形孔或椭圆形孔，且孔内填充与顶部金属盖 层相同的材料；所述金属盖层覆盖在所述二维光子晶体结构上。利用本发 明，简化了红外焦平面的制作工艺，提高了对两种波段的耦合效率。 |
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