一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法

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专利名称 一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法 申请号 CN201010216477.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102312186A 公开(授权)日 2012.01.11 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 牛亚然;郑学斌;季珩;黄利平;丁传贤 主分类号 C23C4/12(2006.01)I IPC主分类号 C23C4/12(2006.01)I;C23C4/08(2006.01)I;B32B15/01(2006.01)I 专利有效期 一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法 至一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明属于涂层材料领域,具体涉及一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法。本发明中的方法为采用Cu-Mo复合涂层作为W涂层与铜合金基材间的中间层,且所述中间层的厚度为50-200μm。利用本发明提供的方法,通过工艺参数的控制可使制备的W涂层与铜合金基材间的结合强度达到40MPa以上,同时含中间层的涂层具有结构均匀、热导率高、工艺制备过程简单的特点。

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