| 专利名称 | Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台 | 申请号 | CN201210331240.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102881337A | 公开（授权）日 | 2013.01.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 翟嘉;谭大川;吴永前;张灿 | 主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | 专利有效期 | Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台 至Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台，包括：压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、压电陶瓷驱动器、外筒、三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉、三柔性铰链圆形片工作台。本发明结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度纳米级精度的无耦合运动或定位，同时可承载一定弯矩、扭矩载荷；并可通过定心修切加工工艺，提高工作台上承载物与工作台外圆或内孔的同轴度。 |
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