立式大量程高精度光学平面测试装置

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专利名称 立式大量程高精度光学平面测试装置 申请号 CN201210363897.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102878949A 公开(授权)日 2013.01.16 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 马冬梅;宋立维;王涛 主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I 专利有效期 立式大量程高精度光学平面测试装置 至立式大量程高精度光学平面测试装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 立式大量程高精度光学平面测试装置属于光学测试仪器领域,该装置包括:支撑底台、水平转台、精密转台、长导轨、第一反射镜、第二反射镜、第一测角装置、第二测角装置、滑板、数据采集分析系统和电控系统;支撑底台上依次放置水平转台和精密转台,精密转台的一侧与长导轨连接,长导轨上安装滑板、第一测角装置和第二测角装置;第一反射镜和第二反射镜固定在滑板上,滑板在长导轨上运动;数据采集分析系统控制第一测角装置和第二测角装置,电控系统控制精密转台和滑板运动。该装置其体积小、重量轻,可在不同姿态下使用,测试精度不受重力影响,结构简单,易于设计加工,可测试口径主要取决于长导轨的有效量程。

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