| 专利名称 | 一种超纯氢气制造装置 | 申请号 | CN201120253262.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202144451U | 公开（授权）日 | 2012.02.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 徐恒泳;侯守福;于晓东;董恩宁;孙剑 | 主分类号 | C01B3/56(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B3/56(2006.01)I | 专利有效期 | 一种超纯氢气制造装置 至一种超纯氢气制造装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种超纯氢气制造装置，包括原料氢气缓冲罐，过滤器，流量控制阀，加热器，金属钯复合膜氢气纯化器，换热器，氢气储罐。原料氢气缓冲罐（11）的气体出口通过管路依次经过滤器（12）、流量控制阀（13）和加热器（14）后与金属钯复合膜氢气纯化器（15）的入口相连，金属钯复合膜氢气纯化器（15）的出口通过管路经换热器（16）换热后与氢气储罐（17）相连；金属钯复合膜氢气纯化器（15）的尾气出口排空。本装置制造超纯氢气，具有投资省和生产成本低的优点，可用于为多晶硅生产和LED外延片生长等提供廉价超纯氢气。 |
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