| 专利名称 | 四轴4细分干涉仪 | 申请号 | CN201110206450.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102353325A | 公开（授权）日 | 2012.02.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海微电子装备有限公司 | 发明（设计）人 | 程兆谷;陈建芳;程亚;黄惠杰;池峰 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I | 专利有效期 | 四轴4细分干涉仪 至四轴4细分干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种四轴4细分干涉仪，其构成包括在沿偏振正交双频激光入射方向依次排列的四轴分光模块和干涉模块。所述的四轴分光系统由3个50%平面分光镜和3个45°平面反射镜组成。本发明包括四轴4细分平镜干涉仪和四轴4细分差分干涉仪，在差分干涉仪中采用可调节45°反射镜将参考光引导到与测量镜同方向放置的固定在运动物体上的参考反射镜。本发明具有元件易加工、光路调节方便、温度漂移小、各路光束温漂一致、非线性误差低和光学效率高的优点。 |
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