| 专利名称 | 一种调焦调平装置 | 申请号 | CN201110321960.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102778822A | 公开（授权）日 | 2012.11.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 刘广义;齐月静;王宇;周翊 | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种调焦调平装置 至一种调焦调平装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种调焦调平装置，由照明系统、成像系统和探测系统组成，其中：成像系统中包括有第一偏振片、1/4波片和SAVART板组成的起偏光路，由该起偏光路将接收到的硅片反射光分成两束偏振方向垂直，空间上错开半个周期的两幅图像。本发明提供的调焦调平装置，利用第一偏振片和1/4波片作为起偏光路产生o光和e光，并充分利用硅片反射回来的光线，提高光能的有效利用率，提高调焦调平信号的信噪比。 |
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