可调谐外腔半导体激光器

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专利名称 可调谐外腔半导体激光器 申请号 CN201110118563.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102780158A 公开(授权)日 2012.11.14 申请(专利权)人 中国科学院深圳先进技术研究院 发明(设计)人 肖啸;于峰崎 主分类号 H01S5/14(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/14(2006.01)I;H01S5/06(2006.01)I 专利有效期 可调谐外腔半导体激光器 至可调谐外腔半导体激光器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种可调谐外腔半导体激光器,包括半导体光放大器和依次设置于所述半导体光放大器发出激光的光路上的准直透镜、可旋转的法布里-珀罗滤光片、第一完全反射镜、部分反射镜以及第二完全反射镜;所述部分反射镜垂直于经所述第一完全反射镜出射后的激光的光路;所述可调谐外腔半导体激光器还包括与所述部分反射镜固定连接的致动器,所述致动器包括平行于所述部分反射镜的接触平面,所述法布里-珀罗滤光片一端搭接在所述接触平面上,所述致动器沿所述部分反射镜的法线方向移动,以改变所述法布里-珀罗滤光片与所述激光的光路的夹角。本发明调谐时不会对光路造成影响,输出光束的方向不会随波长的调谐而改变,且可以实现波长的连续可调。

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