| 专利名称 | 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法 | 申请号 | CN201110201561.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102351145A | 公开（授权）日 | 2012.02.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所;王新平 | 发明（设计）人 | 徐恒泳;王新平;唐雨东;孙剑 | 主分类号 | C01B3/50(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B3/50(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)N | 专利有效期 | 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法 至一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种多晶硅生产过程中三氯氢硅还原循环氢气提纯氢气的方法。采用金属钯复合膜氢气纯化器对三氯氢硅还原循环氢气中的各种杂质进行拦截，使得氢气的纯度提高1-3个数量级，各种杂质浓度降低1-3个数量级。当循环氢气中氯化氢HCl含量超过3ppm时，需要采取必要的脱氯措施使得HCl含量降低到0.5ppm以下。利用该方法提纯的氢气生产多晶硅，不仅可以明显提高多晶硅产品的纯度和质量，而且可以明显降低生产过程的氢耗、能耗和减少污染排放。 |
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