| 专利名称 | 一种硼（B）扩散掺杂的方法 | 申请号 | CN201210301219.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102797040A | 公开（授权）日 | 2012.11.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 汤叶华;周春兰;王文静;费建明;曹红彬 | 主分类号 | C30B31/06(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B31/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种硼（B）扩散掺杂的方法 至一种硼（B）扩散掺杂的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种硼（B）扩散掺杂的方法，其步骤如下：（1）腐蚀清洗待掺杂的衬底表面，清洗完成后将衬底干燥；（2）扩散炉升温，同时向扩散石英管内导入大氮；当温度达到850-1050°C后，将步骤（1）制备好的清洁衬底放入扩散石英管恒温区，密封扩散炉炉口；待扩散炉温度稳定后，向扩散石英管内通入氧气、携带硼源的小氮和气态水；所述的大氮的流量为12-20slm/min；所述的氧气的流量为2000-5000sccm/min；所述的携源小氮的流量800-3000sccm/min；所述的气态水的流量范围为100-900sccm/min；（3）待扩散过程结束后将衬底取出冷却。 |
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