| 专利名称 | 避免半导体制程菜单调试过程中出错的方法及系统 | 申请号 | CN201110139608.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102800564A | 公开（授权）日 | 2012.11.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李春龙;李俊峰 | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 专利有效期 | 避免半导体制程菜单调试过程中出错的方法及系统 至避免半导体制程菜单调试过程中出错的方法及系统 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种避免半导体制程菜单调试过程中出错的方法及系统，用于半导体生产设备的生产执行系统控制和调整半导体产品的薄膜生长制程，其中薄膜厚度标准值是D，步骤100，监测某一批次的产品薄膜厚度d及生长时间t；步骤200，判断薄膜厚度d是否在设定的正常值范围内？如果是的话，则所述半导体生产设备继续生产，否则进行步骤300；步骤300，计算薄膜厚度的偏离率Δd/D，其中Δd＝d-D；如Δd/D≤P，根据公式Δt＝t*Δd/D计算出生长时间的微调值Δt；如Δd/D＞P，所述生产执行系统自动禁止并报警；步骤400，所述生产执行系统根据Δt调整下一批次产品的生长时间t并输出给所述半导体生产设备。本发明避免了手动操作带来的误差和滞后，提高了成品率。 |
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