| 专利名称 | 厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法 | 申请号 | CN201210255733.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102789017A | 公开（授权）日 | 2012.11.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 梁静秋;梁中翥;郑莹 | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/08(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I | 专利有效期 | 厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法 至厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：制作2N个原始基片并对其进行清洗处理；在原始基片上光刻出所需掩膜图形，然后沉积薄膜材料，剥离光刻胶，形成膜层结构；在基底上光刻出掩蔽图形，并沉积一层厚度小于h的膜层；分别将前N个倒置的带结构基片定位在基底特定位置上，并固定在一起，形成多级微反射镜；在多级微反射镜上表面沉积增反射膜层。本发明有效提高了阶梯表面粗糙度的控制精度，且阶梯垂直高度的实时监测，使得横向尺寸精度高，工艺可控性强。 |
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