一种具有忆阻器特性的半导体器件及其制备方法

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专利名称 一种具有忆阻器特性的半导体器件及其制备方法 申请号 CN201110090926.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102738389A 公开(授权)日 2012.10.17 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 刘明;李颖弢;龙世兵;吕杭炳;刘琦;张森;王艳 主分类号 H01L45/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L45/00(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I 专利有效期 一种具有忆阻器特性的半导体器件及其制备方法 至一种具有忆阻器特性的半导体器件及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种具有忆阻器特性的半导体器件及其制备方法。所述半导体器件包括上电极和下电极,以及位于所述上电极和下电极之间的功能层薄膜,所述功能层薄膜为钛铝氧化物TiAlOx。本发明具有忆阻器特性的半导体器件具有与忆阻器相似的特性,结构简单,可以作为第四种无源电路元件的候选,同时采用了简单的制备工艺,降低了忆阻器的制作成本,因此具有产业化价值,有利于本发明的广泛推广和应用。

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