| 专利名称 | 一种基片加热装置 | 申请号 | CN201210225744.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102734930A | 公开（授权）日 | 2012.10.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 刁宏伟;王文静;赵雷;陈静伟;闫宝军;王革 | 主分类号 | F24H7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | F24H7/00(2006.01)I;F24H9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基片加热装置 至一种基片加热装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种基片加热装置，包括油箱体（12）及油箱密封盖。所述油箱体（12）为中空的圆桶形，且开口处设有外延边（11）；内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔（7）；油箱密封盖的引线面设有加热器电源引线端子（3、6）、温度测量热偶引线（1、2）、进油口进油端（4）及出油口出油端（5）；所述的油箱密封盖的加热器面（8）上设有加热器（9）、两个温度测量热偶测量端口（1a、2a）、进油口出油端（4a）、出油口进油端（5a）；所述的加热器面（8）与油箱体外延边（11）直接对接，加热器面（8）上有密封刀口（14），所述的密封刀口（14）压在所述油箱体的外延边（11）上。 |
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