专利名称 | MOS器件的建模方法 | 申请号 | CN201210212516.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102708268A | 公开(授权)日 | 2012.10.03 | 申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 卜建辉;毕津顺;罗家俊;韩郑生 | 主分类号 | G06F17/50(2006.01)I | IPC主分类号 | G06F17/50(2006.01)I | 专利有效期 | MOS器件的建模方法 至MOS器件的建模方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种MOS器件的建模方法,所述MOS器件在源端包括第一类型的STI结构,在漏端包括第二类型的STI结构,该方法包括:a)建立定义器件的沟道区到第一类型的STI结构的距离以及到第二类型的STI结构的距离的一组参数;b)建立所述一组参数对迁移率的影响的解析模型,所述解析模型包含待确定的系数;c)对在源端和漏端都包含第一类型的STI结构的第一类型MOS器件和在源端和漏端都包含第二类型的STI结构的第二类型MOS器件进行测试,获得测试数据;d)根据所述测试数据确定所述解析模型的系数。本发明提供的建模方法,简单易行,可操作性强,有较广的适用范围。 |
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