| 专利名称 | p型氧化锌材料的制备方法 | 申请号 | CN201210201820.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102719893A | 公开（授权）日 | 2012.10.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 发明（设计）人 | 黄丰;丁凯;林文文;张继业;郑清洪;黄嘉魁;黄瑾;湛智兵;陈达贵 | 主分类号 | C30B31/00(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B31/00(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;H01L21/477(2006.01)I | 专利有效期 | p型氧化锌材料的制备方法 至p型氧化锌材料的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤：强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜；通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子，同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的；通过再次弱氧化气氛退火，实现富余间隙一价原子的脱除，以消除材料中的不稳定浅施主。该方法能够获得高空穴浓度和高稳定性的p型氧化锌材料。 |
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